BlockBeats tin tức, ngày 10 tháng 8, SpaceX gần đây đã công bố hợp tác với Tesla, đầu tư ban đầu 16,8 tỷ USD để xây dựng cơ sở chip Terafab tại bang Texas, Hoa Kỳ. Một blogger đã đăng bài cho biết, dựa trên thông tin từ Terafab, Musk dường như sẽ áp dụng công nghệ "bộ phát laser electron tự do" (Free Electron Laser, FEL) để thách thức nguồn sáng LPP EUV của ASML, phá vỡ sự độc quyền của công nghệ sản xuất chip EUV truyền thống. Phản hồi sau đó của Musk dường như xác nhận điều này, khi ông đăng dòng chữ "FEL FTW" (FEL For The Win).
Từ thiết kế nhà xưởng dài mảnh của Terafab và phản hồi của Musk, có thể suy đoán rằng Terafab rất có thể sẽ áp dụng công nghệ FEL. Mặc dù việc Musk phát triển FEL chỉ là một giả thuyết, nhưng nó đã gây ra sự thảo luận sôi nổi trong ngành. FEL sở hữu các ưu điểm như công suất cao, độ tương quan cao, bước sóng điều chỉnh được và hiệu suất năng lượng cao hơn; về lý thuyết, nó có thể đẩy nguồn sáng quang khắc từ 13,5nm lên 6nm hoặc thậm chí bước sóng ngắn hơn. Tuy nhiên, hệ thống gia tốc quy mô lớn, chi phí và độ ổn định trong sản xuất hàng loạt vẫn là những thách thức lớn nhất trong việc thương mại hóa. (South China Morning Post)