BlockBeats - Le 9 septembre, selon le Seoul Economic Daily, Samsung Electronics collaborera avec ASML, le plus grand fabricant mondial d'équipements de lithographie, pour développer la technologie de lithographie extrême ultraviolet à haut nombre d'ouverture (High-NA EUV). Samsung participe à une initiative visant à faire passer la norme industrielle de masques de lithographie de 6 pouces, utilisés depuis les années 1980, à des masques de 12 pouces, et vise à devenir le premier à établir un système de production en série de DRAM basé sur des équipements High-NA EUV.
Samsung prévoit d'appliquer des équipements EUV à haute NA à la production DRAM à partir de 2028, puis d'étendre ultérieurement cette technologie à un processus logique avancé de 1,4 nanomètre pour stimuler son activité de fabrication de puces. L'élargissement de la taille des masques vise à compenser les limites de la technologie EUV. L'ouverture numérique des équipements EUV à haute NA est supérieure de 66 % à celle des EUV traditionnels, permettant de créer des motifs de circuits plus précis. Le remplacement des masques actuels de 6 pouces par des masques de 12 pouces permet d'augmenter l'efficacité de production des usines et de réduire les coûts de fabrication des puces.
