تدخل صناعة معدات أشباه الموصلات الصينية مرحلة التعمق

عندما يدخل قطاع أشباه الموصلات العالمي عصر ما بعد قانون مور، وعندما تتصاعد متطلبات قوة الحوسبة للذكاء الاصطناعي بشكل أسّي، وعندما تستمر القيود الأمريكية على صادرات أشباه الموصلات إلى الصين في التشديد، فإن صناعة معدات أشباه الموصلات الصينية تقف الآن على نقطة تحول تاريخية.

على مدار العقد الماضي، شهدنا تحقيق الأجهزة المحلية لقفزة من التطوير إلى الإنتاج الضخم؛ وفي الخمس سنوات القادمة، سيتحدد ما إذا كان يمكن للأجهزة المحلية الدخول إلى خطوط الإنتاج المتقدمة، ودعم رقائق المنطق ذات التصنيع المتقدم، وتلبية متطلبات تكدس HBM (ذاكرة عريضة النطاق)، وتحقيق الاستقلال الحقيقي في أكثر النقاط ضعفًا.

من 31 أغسطس 2026 إلى 2 سبتمبر 2026، افتتح معرض الصين الرابع عشر للمعدات والمواد ومكونات أشباه الموصلات الأساسية (CSEAC 2026) في مركز ووهي تايهو الدولي للمعارض. أصبح هذا الحدث الصناعي الكبير نافذة نادرة لمراقبة سلسلة توريد معدات أشباه الموصلات المحلية. من معدات العمليات إلى معدات القياس والفحص ومعدات التغليف المتقدمة، قمنا بزيارة عدة شركات في محاولة للإجابة على سؤال واحد: إلى أي مدى وصلت معدات أشباه الموصلات المحلية؟

لقد حققت معدات التصنيع المحلية قفزة في الفئات الكبيرة. وفي مجالات المعدات ذات الحجم الأكبر في السوق، مثل التصوير الضوئي، والنحت، وترسيب الأغشية، ظهرت شركات رائدة من نوعية Zhongwei وNorth Hua Chuang، والتي تتصدر كل منها مجالها الفرعي على المستوى المحلي وحتى العالمي.

تعتبر شركة زونغوي القائدة المطلقة في مجال معدات الحفر المحلية، وقد تسارعت استراتيجيتها التخطيطية بشكل ملحوظ في السنوات الأخيرة. خلال معرض CSEAC الحالي، أعلنت شركة زونغوي عن إطلاق عدة معدات متقدمة جديدة مطورة ذاتيًا، تشمل Primo XD-RIE70 إلى 90 بقدرة حفر بنسب عمق إلى عرض عالية جدًا تصل إلى 70 إلى 90، وسلسلة Performo QuaStar P EC VD (بما في ذلك Performo QuaStar ON و Performo QuaStar GE)، ووحدة ترسيب ذري للملح الموليبدنيوم Prefima UnicoreAM، ونظام متكامل لسيليكات المعادن Preforma Uniflash، وPRISMO PDS8 لإنتاج كميات كبيرة من أجهزة الطاقة الكربونية السيليكونية باستخدام HTCVD. هذا هو الإطلاق الكثيف الجديد الثاني لشركة Zhongwei خلال ستة أشهر، بعد الإعلان عن أربعة منتجات جديدة في مارس من هذا العام، حيث تحقق تغطية شاملة للعمليات الأساسية مثل التصنيع المنطقي المتقدم، وتقنيات أشباه الموصلات القوية، وترسيب الأغشية الرقيقة، والنقش الدقيق، مما يكمل قدرتها على تقديم حلول متكاملة لسلسلة التصنيع في سيناريوهات متعددة. حاليًا، تم تشغيل أكثر من 8800 غرفة تفاعل من قبل Zhongwei في أكثر من 170 عميلًا محليًا ودوليًا، وعلى أكثر من 220 خط إنتاج للرقائق والـLED، وقد أقامت الشركة خمسة مراكز للبحث والتطوير والإنتاج في مناطق مختلفة.

عرضت شنغهاي للتجهيزات الإلكترونية أجهزة التعرّض الضوئي الجافة KrF وأجهزة التعرّض الضوئي الماسحة الإسقاطية I-line ومنتجات الأنظمة الفرعية الأساسية ذات الصلة. تستخدم أجهزة التعرّض الضوئي الماسحة الإسقاطية I-line مصدر ضوء بطول موجي 365 نانومتر، وتصل دقتها إلى 280 نانومتر؛ بينما تستخدم أجهزة التعرّض الضوئي الماسحة الإسقاطية KrF مصدر ضوء بطول موجي 248 نانومتر، وتصل دقتها إلى 110 نانومتر. ووفقًا للمعلومات المتاحة، تجاوز إجمالي إنتاج عملاء معدات التعرّض الضوئي لشركة شنغهاي 10 ملايين وحدة.

ومع ذلك، فإن توطين معدات أشباه الموصلات لم يكن أبداً أمراً سهلاً. عندما نُبعد نظرنا عن المعدات ذات أكبر حجم سوق، نكتشف منطقة عميقة أخرى. إن المعدات ذات الصعوبة التقنية العالية ولكن حجم السوق الأصغر نسبياً، أصبحت عظاماً صعبة يجب على الشركات المحلية مضغها، وآلة الحقن الأيوني هي أحد أكثر الفئات تمثيلاً.

سابقًا، شمل اللاعبون الرئيسيون في السوق المحلية شينغتشو إكسين وكايشيتونغ، لكن في السنوات الأخيرة، دخلت العديد من الشركات إلى هذا المجال. وتُعد هواشانغ كريستال معيارًا رائدًا في تطوير الأجهزة المحلية، حيث بنت أشمل مجموعة منتجات أجهزة أشباه الموصلات في الصين، تشمل تقنيات الحفر، وترسيب الأغشية، والتنظيف، والمعالجة الحرارية. وفي هذه المعرض، عرضت هواشانغ كريستال مجموعة من الحلول تضمنت منتجات مثل جهاز حقن الأيونات المغمور بالبلازما وجهاز حقن الأيونات بتركيز متوسط. كما توسع جينشينغ ميكانيكال في اتجاه أجهزة المرحلة الأمامية، بما في ذلك جهاز حقن الأيونات الذي تطوره حاليًا. ووفقًا للمعلومات المتاحة، فإن جهاز حقن الأيونات السيليكونية بتركيز متوسط الذي تطوره جينشينغ ميكانيكال يخضع حاليًا للاختبار من قبل العملاء في مرحلة ما بعد الإنتاج.

بعد تقدم شركة سي روي إنترليجنس في تحويل وتطوير أعمالها في مجال ALD، فقد دخلت أيضًا مجال أجهزة الحقن الأيوني في السنوات الأخيرة وحققت اختراقات. خلال المعرض، عرضت شركة سي روي إنترليجنس سلسلة SR11 HEI لآلات الحقن الأيوني عالي الطاقة، وسلسلة SR11 HCI لآلات الحقن الأيوني بتيار كبير، وآلة الحقن الأيوني بتيار متوسط SRII MCI، وآلة الحقن الأيوني للهيدروجين SRII H، وسلسلة آلات الحقن الأيوني لكاربيد السيليكون. ووفقًا للمعلومات المقدمة، فإن الشحنات الحالية لشركة سي روي إنترليجنس تتركز بشكل أساسي على آلات الحقن الأيوني عالي الطاقة وآلات الحقن الأيوني بتيار كبير، بينما دخلت آلات الحقن الأيوني لكاربيد السيليكون مرحلة التحقق.

بالإضافة إلى شركات أجهزة أشباه الموصلات التقليدية هذه، ظهرت شركات ناشئة تركز بالكامل على آلات الحقن الأيوني. عرضت شركة AiSemiconductor في معرض CSEAC هذا العام سلسلة من المنتجات مثل Ai-250 وAi-300 وAi-80HC وAi-200HC.D، وقد شكّلت الآن مجموعة كاملة من معدات الحقن الأيوني تغطي نطاقًا كاملاً من التدفقات المتوسطة والكبيرة والطاقة العالية والخاصة، وتغطي طريقتي تصنيع السيليكون وكاربيد السيليكون، حيث حققت آلة الحقن الأيوني عالية الحرارة لكاربيد السيليكون إنتاجًا وتصديرًا بكميات كبيرة. وفقًا لشركة AiSemiconductor، فإن معدل التوطين المحلي الإجمالي لآلات الحقن الأيوني في الصين حاليًا أقل من 15٪، حيث يقل معدل التوطين المحلي للنماذج ذات التدفق الكبير عن 10٪، بينما لا توجد تقريبًا أي آلات عالية الطاقة محلية الصنع. علاوة على ذلك، تم حظر تصدير أحدث آلات الحقن الأيوني عالميًا إلى الصين، حتى أن شراء المعدات المستعملة المقابلة أصبح مستحيلاً، مما يجبر مصانع الرقائق المحلية على استخدام معدات قديمة فقط، مما يؤثر بشدة على معدل الإنتاج الجيد والاستقرار. وعلى الرغم من دخول مزيد من الشركات إلى هذا المجال في السنوات الأخيرة، إلا أن عدد اللاعبين القادرين على تقديم منتجات ناضجة في الصين لا يزال منخفضًا بشكل عام، حيث لا يزال معظمها في مراحل التحقق المبكرة، وقليل فقط من الشركات حققت الإنتاج والتصدير بكميات كبيرة. والأهم من ذلك، أن جميع شركات آلات الحقن الأيوني في الصين تقريبًا لم تحقق أرباحًا بعد، وتبقى في مرحلة استثمار مرتفع في البحث والتطوير.

لماذا هي المياه العميقة؟ ليس فقط بسبب صغر حجم السوق، بل أيضًا بسبب عدم قابلية نقل المسار التقني. تشارك آلات النحت وآلات ترسيب الأغشية الرقيقة قاعدة تقنية مشتركة تشمل فيزياء البلازما، غرف الفراغ، وطاقة الترددات الراديوية، لذا يمكن لشركة ما أن تعيد استخدام الخبرات التي اكتسبتها في مجال النحت في تطوير أجهزة الترسيب. لكن آلة الحقن الأيوني مختلفة تمامًا؛ فتقنياتها الأساسية هي البصريات الأيونية، التحليل الكهرومغناطيسي للكتلة، والتسريع عالي الجهد، وهي أقرب إلى مسرّعات الجسيمات منها إلى أجهزة التصنيع التقليدية للأشباه الموصلات. لا يمكن نقل تراكم الخبرات التقنية من آلات النحت إلى آلات الحقن الأيوني تقريبًا.

في السنوات الأخيرة، أظهرت البيانات أن نسبة التوطين لمعدات فحص الكمية في المرحلة الأولى في الصين كانت أقل من 10٪، وهي أقل نسبة بين جميع فئات معدات أشباه الموصلات. على الرغم من أن معدات فحص الكمية لا تنتج الرقائق مباشرة، إلا أنها تحدد ما إذا كانت شريحة السيليكون منتجًا صالحًا أم نفاية. في عمليات النانومتر، يمكن لأي عيب دقيق، أو انحراف في سمك الطبقة، أو فقدان السيطرة على الأبعاد الحرجة (CD) أن يؤدي إلى تدمير دفعة كاملة من شرائح السيليكون. لذلك، فإن عتبة الثقة لمعدات فحص الكمية في المصانع مرتفعة جدًا. لكن في هذا المعرض، لوحظ جانب آخر: فقد تطورت معدات فحص الكمية المحلية في السنوات الأخيرة لتصل إلى مستوى متقدم عالميًا، بل وتتجاوزه أحيانًا، وحققت إنتاجًا وتصديرًا بكميات كبيرة.

باعتبارها أول شركة صينية تحقق تخطيطًا منصيًا في مجال القياس والفحص، طورت Zhongke Feice بشكل مستقل سلسلة من المنتجات، بما في ذلك أجهزة فحص العيوب في رقائق التشكيل النانوي بضوء ساطع، وأجهزة فحص العيوب في رقائق التشكيل النانوي بضوء مظلم، وأجهزة فحص العيوب في الرقائق غير المُشكّلة، وأجهزة قياس الشكل الثلاثي الأبعاد، وأجهزة قياس الأغشية العازلة للرقائق، وأجهزة قياس دقة التراكب، وأجهزة قياس الأغشية المعدنية للرقائق، وأجهزة قياس الأبعاد الحرجة. كما أطلقت الشركة في مجالات شبه الموصلات الواسعة والفحص الصناعي أجهزة فحص عيوب لوحات OLED وأجهزة قياس الزجاج المنحني ثلاثي الأبعاد. ووفقًا للإفادات، فقد غطت هذه المنتجات بنجاح عدة مصانع رائدة صينية للدوائر المتكاملة، حيث تمثل أنواع الأجهزة التي تم إنتاجها بالجملة أو التي تمر بمرحلة التحقق أكثر من 70٪ من إجمالي سوق أجهزة مراقبة الجودة. وأفاد العاملون أن إجمالي عدد الأجهزة المُسلّمة من السلسلة الكاملة يقارب 1500 جهاز، مع خبرة ناضجة في التسليم بالجملة، وقد تم التحقق من أداء المنتجات على المدى الطويل من قبل كبريات مصانع الرقائق، حيث تم استبدال أجهزة الضوء الساطع والمظلم عالية المستوى من قبل أربع شركات رائدة للرقائق بنسبة عالية، وبعض خطوط الإنتاج الجديدة لم تشتري أجهزة KLA بل اعتمدت مباشرة منتجات Feice.

عرضت Yuwei Semiconductor توزيع منتجاتها في أربع مجالات رئيسية: تصنيع قوالب الماسك، وتصنيع الماسك، وتصنيع الرقائق، والتغليف المتقدم. ووفقًا للإفادة، فإن تقدمها في أجهزة الفحص المتعلقة بالماسك هو الأسرع، حيث بلغت بعض الأجهزة مستوى رائداً عالمياً، ويمكنها الاستبدال الكامل، وقد دخلت هذه الأجهزة مصانع الرقائق الرائدة في الصين.

تعرض شرق جين يوان معدات قياس وفحص الإلكترونات، وتشمل معدات قياس الأبعاد الحرجة (CD-SEM)، ومعدات إلكترونات عالية الطاقة (HV-SEM)، ومعدات كشف العيوب بالإلكترونات (EBI)، ومعدات إعادة فحص العيوب بالإلكترونات (DR-SEM). يمكن استخدام معدات EBI في عمليات المنطق ≥28 نانومتر وعمليات 3D NAND ≥200 طبقة، وتتميز بتيار فحص بمستوى 100 نانو أمبير وخوارزمية تصنيف تلقائي للعيوب باستخدام التعلم العميق؛ ويمكن استخدام معدات HV-SEM في عمليات المنطق ≤14 نانومتر وعمليات 3D NAND ≥200 طبقة وعمليات DRAM على العقد المتقدمة، مع طاقة وصول تصل إلى 45 كيلو فولت؛ وتصل دقة التكرار في قياس CD-SEM إلى 0.15 نانومتر، ودقة التماثل بين المعدات إلى 0.1 نانومتر.

بالإضافة إلى هذه الأجهزة الرئيسية للكشف عن التدفق، حققت الأجهزة المحلية للكشف عن التدفق اختراقات في بعض المجالات التقنية الناشئة أو المتخصصة، والتي رغم صغر حجم أسواقها إلا أنها حاسمة.

عرضت شركة Gaize تقنياتها، بما في ذلك جهاز قياس سمك طبقة الظهارة على شريحة السيليكون IR300، وجهاز قياس سمك الطبقات AP300، وجهاز كشف الإجهاد الداخلي للشريحة ID300. ويستخدم جهاز IR300 تقنية التداخل بالأشعة تحت الحمراء فورييه (FTIR) لحساب سمك الطبقة من خلال تحليل إشارة التداخل. ووفقًا للإفادات، فقد بدأ توطين هذا النوع من الأجهزة في الصين عام 2023، وكانت الأسواق المحلية سابقًا تعتمد بشكل رئيسي على علامات تجارية خارجية مثل Onto وSemilab، لكن الشركات الصينية الكبرى لإنتاج شرائح السيليكون الكبيرة انتقلت الآن بشكل أساسي إلى استخدام منتجات Gaize.

عرضت شركة ويتشونغ للأشباه الموصلات أجهزتها مثل سلسلة ASPIRER لفحص الرقائق بالتوافق الثاني، وسلسلة BRAVERY لقياس الموجات الحرارية، وسلسلة CLARITY لمجهر الموجات فوق الصوتية الماسح. ويستخدم جهاز الكشف بالتوافق الثاني مبدأ الإثارة بالليزر للكشف عن العيوب الكهربائية في الواجهات والطبقات، والشحن السطحي، وخصائص الشبكة البلورية، وجودة التبلور، ويغطي عمليات متعددة مثل الأغشية الرقيقة، والترسيب خارج التوازن، والنقش، والانتشار، والتنظيف، وCMP بعد تنفيذها، مع قدرته على فحص رقائق غير مرسومة. وفقًا للشركة، فإن الفحص الضوئي التقليدي بالميدان الساطع والميدان المظلم، وكذلك فحص حزمة الإلكترونات، لا يمكنه سوى مراقبة سطح الرقاقة ولا يستطيع التقاط معلومات الواجهات الداخلية، ولا توجد حاليًا أي حلول بديلة ناضجة أخرى. علاوة على ذلك، فإن ارتفاع درجة الحرارة عند نقطة الإثارة أثناء فحص التوافق الثاني لا يتجاوز 2-3 درجات، ولا يسبب أي ضرر إضافي للرقاقة الأساسية. وأوضحت شركة ويتشونغ للأشباه الموصلات أن سوق قياس سمك الطبقات والفحص الضوئي بالميدان الساطع والميدان المظلم مزدحم بشدة ومتشابك، لذا قررت الفريق عدم الدخول إلى هذه المسارات. بدلًا من ذلك، قاموا بإدخال مبدأ فحص التوافق الثاني إلى مجال قياس وفحص الأشباه الموصلات.

على الرغم من أن الفجوة بين معدات الفحص المحلية والمعدات الأجنبية كانت في الماضي كبيرة بشكل عام، إلا أن التقدم التقني الصناعي قد تسارع بشكل ملحوظ في السنوات الأخيرة بسبب فتح العملاء النهائيين لعمليات التحقق، وعدم اقتصارهم على الابتكار الداخلي فقط. والأهم من ذلك، أن معدات الفحص المحلية قد ازدهرت بشكل متنوع، حيث لم تحقق فقط تقدماً في المعدات الرئيسية، بل امتدت أيضاً إلى قطاعات نادرة ومحددة وناشئة. ومع ذلك، أشار خبراء الصناعة إلى أنه عند شراء المصانع الرائدة للمعدات الجديدة، لا يزالون يحتفظون بالمعدات المستوردة كمرجع قياسي، حيث يتطلب التحقق من المنتجات إجراء مقارنة مطابقة مع المعدات الأجنبية المماثلة، من خلال إعادة إنتاج نتائج الفحص الخاصة بالمعدات الأجنبية لتقييم أداء المعدات المحلية.

في الماضي، كانت مكانة التغليف في سلسلة صناعة أشباه الموصلات تقتصر على تغليف الرقائق التي تم تصنيعها بالفعل وربطها، وكانت درجة التكنولوجيا منخفضة والقيمة المضافة محدودة. لكن كل هذا تغير تمامًا في عصر الذكاء الاصطناعي. في عصر ما بعد مور، أصبح التغليف المتقدم مسارًا حاسمًا لاستمرار نمو القدرة الحسابية. لم يعد التغليف مجرد تغليف، بل يحدد مباشرة أداء الرقاقة واستهلاك الطاقة والتكلفة. وتعتبر معدات التوصيل هي العنصر الأساسي في التغليف المتقدم. ووفقًا لفئة الكائنات الموصولة، تنقسم بشكل رئيسي إلى نوعين: W2W (رقاقة لرقاقة) وD2W (رقاقة لرقاقة).

تتخصص تشينغ هه جين يوان في معدات ربط الألواح، وعرضت منتجات مثل معدات الربط عند درجة حرارة الغرفة تحت فراغ عالي جدًا، ومعدات الربط المختلط للسطح المحب للماء/W2W، ومعدات الربط الأنودي بالضغط والحرارة، ومعدات الربط المختلط C2W/CWW، إلخ. حيث تستخدم معدات الربط عند درجة حرارة الغرفة تحت فراغ عالي جدًا تنشيط سطح المواد بواسطة حزمة أيونات تحت فراغ عالي جدًا، مما يتيح تحقيق رابطة كيميائية قوية دون الحاجة إلى التسخين أو المعالجة الحرارية.

جلبت توجين تكنولوجي جهاز Dione 300 للربط الهجين لل wafer وجهاز Pleione 300 HS للربط الانصهاري للرقاقة على wafer. حيث يُعد Dione 300 جهازًا للربط الهجين بين wafer وwafer (W2W)، ويُستخدم في عمليات التكامل غير المتجانس ثلاثي الأبعاد المتقدمة. أما جهاز Pleione 300 HS للربط الانصهاري، فيمكنه تحقيق الربط المباشر دون الحاجة إلى وسط ربط أو لاصق، ويمكنه العمل عند درجة حرارة الغرفة، كما يسمح باختيار رقاقات معروفة الجودة للمشاركة في الربط، مما يزيد بشكل كبير من معدل الإنتاجية.

تشكل شينهوي ليانشين قوة مهمة أخرى في مجال أجهزة الترابط المختلط، وعرضت سلسلة CANOPUS لأجهزة الترابط المختلط W2W وسلسلة SIRIUS لأجهزة الترابط المختلط D2W. وأفادت شينهوي ليانشين أن هناك شركة واحدة فقط غيرها في الصين حصلت على شحن أجهزة D2W حتى الآن. بالإضافة إلى ذلك، عرضت شينهوي ليانشين أجهزة قياس وفحص ذات صلة. وأفاد العاملون أن مراحل تطوير أجهزة الترابط تتطلب التحقق المتكرر للمعلمات، وأن استخدام أجهزة خارجية لا يمكنه تحديد مصدر المشكلات، لذا طورت الشركة أجهزة قياس وفحص قوة الترابط المخصصة الخاصة بها.

عرضت StarTech Equipment حلولًا متكاملة للضوء والربط على مستوى الشريحة، بما في ذلك أجهزة الربط D2D/D2W من سلسلة ICB بدقة ±0.3 ميكرومتر، وأجهزة الربط المختلطة iHC 3000 D2W بدقة ±0.1 ميكرومتر، وأجهزة الربط W2W من سلسلة IAB بدقة ±2 ميكرومتر.

ومع ذلك، أشار العاملون في المجال أيضًا إلى أن عملية W2W ناضجة منذ فترة طويلة، والتحدي الحقيقي يكمن في D2W. في الواقع، تم تطبيق ربط الانصهار W2W لأول مرة في منتجات مستشعرات الصور CMOS عام 2008، لتنفيذ تبديل الطبقات بين الثنائيات الضوئية والطبقات المعدنية، مما يقلل من الانعكاسات والإزعاج التداخلي. وفي عام 2017، أطلقت سوني مستشعر CIS مكدسًا بثلاث طبقات، وفي عام 2018 أطلقت تشانغجيانغ للتخزين المكدس 3D NAND، وفي عام 2019 IM EC تم تطبيق تقنيات التغذية الخلفية بالتدريج من خلال عمليات الترابط. في عام 2022، تم تطبيق تقنية الترابط على مستوى الشريحة MicroLED، وفي عام 2023، أدرجت سامسونغ الترابط المختلط في خارطة طريق HBM4، وفي عام 2024، أطلقت بنية VCT DRAM المتسلسلة العمودية. من ناحية أخرى، فإن معدات الترابط المختلط D2W الحالية تهيمن عليها شركة BESI الهولندية بشكل شبه كامل، وفي جميع أنحاء العالم، لا تمتلك تايوان للأشعة النصف ناقلة (TSMC) سوى القدرة على إنتاج D2W بكميات كبيرة. على الرغم من أن الشركات المحلية أطلقت نماذج أولية، إلا أن معظمها لا يزال في مرحلة التحقق، وتفتقر إلى منتجات ناضجة قابلة للإنتاج الضخم. يكمن صعوبة الترابط المختلط D2W ليس فقط في المعدات نفسها، بل أيضًا في غياب النظام البيئي الصناعي. أولاً، هناك نقص في الطلب من الأسفل، حيث لا يوجد عملاء محليون حاليًا يعتمدون إنتاج D2W بكميات كبيرة، وبالتالي لا يمكن للسوق السفلي تحديد متطلبات معلمات العملية بدقة. ثانيًا، الموارد اللازمة للتحقق نادرة، حيث تمتلك المصانع الرائدة موارد بحثية محدودة ومواد شرائح عالية القيمة، مما يجعل من الصعب على الشركات الجديدة الحصول على فرص كافية للتحقق في خطوط الإنتاج. ثالثًا، عتبة التنسيق بين المراحل مرتفعة، إذ إن الترابط المختلط ليس مشكلة معدات واحدة فقط، بل يتطلب دمج قدرات العمليات الأمامية مثل تعديل الليثوغرافيا، وهو مشروع نظامي يشمل مراحل متعددة. وفي الخارج، تعتمد شركات الترابط المختلط نموذج التعاون بين الشركات لدمج وحدات متميزة عبر جميع المراحل، ولا توجد كيانات مستقلة تقوم بتنفيذ كامل سلسلة القيمة بمفردها.

بالإضافة إلى التوطين المتسارع لمعدات أشباه الموصلات، فإن توطين المكونات الأساسية يتسارع أيضًا.

مع استمرار تطور عمليات التصنيع المتقدمة للأشباه الموصلات، تفرض المعدات عالية الدقة متطلبات أعلى على الاستقرار التشغيلي، ودقة التحديد على مستوى النانومتر، وقدرة كبح الاهتزازات الدقيقة. لم يعد تحسين أداء قطعة واحدة منفصلة كافيًا لتلبية متطلبات العمليات الدقيقة المعقدة الحالية. في الماضي، كانت قطع الغيار الأساسية ذات الصلة تخضع لاحتكار الشركات الأجنبية. وحققت جيلانروو بريسيجن أول اختراق محلي من خلال إطلاق منتجين جديدين للتخفيض النشط للاهتزازات من نوع الهوائي: SFE300B وSFL300A. بالإضافة إلى ذلك، طورت جيلانروو بريسيجن نظام تحكم حركي عالي الدقة. ووفقًا للإفادات، فإن الأداء الأساسي لهذه السلسلة من المنتجات متماثل تقريبًا مع منتجات الشركة الأجنبية ACS، ويمكن استبدالها مباشرة، مع الحاجة فقط إلى تطوير وتحسين وحدات الوظائف في المستقبل.

بعد زيارة معرض CSEAC 2026، يبرز شعور واضح: صناعة المعدات شبه الموصلات المحلية تنتقل من اختراقات رئيسية إلى بناء نظام بيئي. مع تحسن النظام البيئي بشكل متزايد، تدخل عملية توطين المعدات مرحلة أعمق. فالمجالات التي كانت تُستثمر فيها بشكل محدود أو لم تُستثمر إطلاقًا من قبل، بدأت تجذب لاعبين جدد. قبل عشر سنوات، كنا نقلق بشأن وجود معدات حفر وتنظيف محلية؛ أما اليوم، فنحن نناقش وجود معدات لسلسلة التوريد الكاملة، وهي تحوّل نوعي في النظام البيئي الصناعي.

لكن التحديات في المناطق العميقة تواجهنا الآن: جزر تقنية للحقن الأيوني، فجوة في الإنتاج الضخم لربط D2W، عتبة الثقة في معدات القياس والفحص... هذه ليست مشكلات يمكن حلها من خلال اختراق منفرد، بل تتطلب تحققًا تعاونيًا عبر سلسلة التوريد بأكملها، واستثمارًا طويل الأمد وكثيفًا في البحث والتطوير. فبعد أن تم إنجاز الأمور السهلة، ما تبقى هو عظام صعبة.

هذا المقال من حساب ويشات الرسمي "مجمع صناعة أشباه الموصلات" (ID: ICViews)، الكاتب: بيونغ تشينغ